Mint mindannyian tudjuk, egyetlen gyártó van a világon, amely képes EUV litográfiát gyártani, ez aHollandia ASML.
Az ok, amiért csak egy gyártó létezik a világon, az az, hogy az ASML számos kulcsfontosságú gyártót összekötött, mint például a Zeiss (Zeiss), egy német optikai cég, a Cymer (USA) ésTRUMPF (Németország).
Az ASML ezeket a gyártókat a szekeréhez kötötte befektetésekkel, felvásárlásokkal, részesedésekkel, kutatóközpontok létrehozásával stb. EUV litográfiát készítenek.
A közelmúltban azonban az ASML egyik kulcsfontosságú ellátási lánca a kínai Sencsenbe futott, hogy gyárat építsen, Shenzhen leányvállalata pedig a Baoan Sino-German (Európa) Ipari Demonstrációs Parkban telepedett le.
Ez a gyártó a német TRUMPF Group (TRUMPF), az ASML EUV litográfiája, a világ egyetlen lézerforrás szállítója.
Mennyire fontosak a TRUMPF termékek az EUV litográfiában? Először hallgass meg, ahogy elmagyarázom az EUV litográfia elvét, akkor megérted.
Az EUV litográfia elve, leegyszerűsítve, három fő rendszerre összpontosul, az EUV ultraibolya fényforrás rendszerre, az objektív tükör rendszerre és az asztali rendszerre.
A konkrét eljárás az, hogy lézerrel 13,5 nm hullámhosszú extrém ultraibolya fényt gerjesztenek, amelyet azután korrigálnak, hogy szabályozott fénysugarat képezzenek, amelyet ezután egy fotómaszk asztalra vetítenek, mielőtt objektív tükrön keresztül az expozíciós asztalra vetítik. végül egy fotoreziszttel bevont szilícium ostyán áramkörbe maratva.
Hogyan állítják elő az egyik EUV UV fényforrás rendszert úgy, hogy egy ón (Sn) fémcseppet bombáznak 30 kW teljesítményű CO2 lézerrel, elpárologtatják plazmává, végül 13,5 nm hullámhosszon EUV fényt kapnak.
Ezt a 30 kW-os CO2 lézert a világon egyedüliként a TRUMPF szállítja.
Ne becsülje alá ezt a CO2 lézert, 457 329 alkatrészből áll, a kábel hossza a rendszerben akár 7 322 méter, súlya pedig 17 090 kg, ami az EUV litográfia egyik legfontosabb alapeleme.
Most TRUMPF futott Kínába, hogy építsenek egy gyárat, a szándék egyértelmű, azaz optimista a kínai lézerpiacot illetően, és még inkább hosszú távú kilátás, optimista a kínai litográfiai piacon, a jövőben együttműködhet Kínával az EUV litográfia építésében .
Valójában már több ASML ellátási lánc fut Kínába, hogy gyárat építsenek, vannak KMWE és más gyártók, Kínába is, hogy gyárat építsenek.
A jelenlegi trend szerint optimistán számíthatunk arra, hogy nem sokára Kína litográfiai technológiája nagy előrelépést jelent, és még a kibocsátott EUV litográfia mennyiségét is várom, mit gondol?
