A közelmúltban a Kínai Tudományos Akadémia Sanghaji és Információs Technológiai Intézete nagy teljesítményű MEMS-eket fejlesztett ki, gyors reflektoros tükörrel, integrált szögérzékelőkkel . A tükör nagy méretű, kis csomagmennyiség, kiváló teljesítmény és nagy potenciál a lézeres műholdas kommunikációban .}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}
A gyors reflektáló tükör közel öt évbe telt a . fejlesztése, amelyben kettős rétegű heterogén integrációt és ostya szintű kötési technológiát alkalmaz, és mennyisége csak a 1- Yuan . méretű.
Legyőzi a hagyományos mechanikus, gyorsan visszatükröződő tükrök és az eredeti MEMS gyors reflektor tükrök műszaki szűk keresztmetszetét, létrehozva egy μRAD mutató pontossággal, amely megfelel a műholdas által terjesztett alkalmazások rendkívül nagy teljesítménymutatóinak .}
A mobiltelefon képernyőjének ihlette, a csapat a szilícium piezorsister törzs elvét a chip angle érzékelők integrálására és a szerkezeti innováció révén az érzékenység 63%-kal növelte, optimalizálva a sugárvezérlés pontosságát .
A teszteredmények azt mutatják, hogy egy adott frekvencián a szög pontossága megfelel a standardnak, és a maximális dinamikus felületi deformáció csak 2 nanométer .
A tisztviselő analógiát készített, amely megegyezik a futballpályán lévő tükör összes emelkedésével és bukásával, amely nem haladja meg a haj átmérőjét, megfelel a távolsági műholdas lézerkommunikáció szigorú követelményeinek a tükör felületén .
