A hordozóanyag jellemzői, a hordozófelület pontossága, a felületi érdesség és a részecske-szennyező anyagok típusai szerint a jelenlegi lézeres tisztítási módszerek a következő két kategóriába sorolhatók.
1) Lézeres száraztisztítási módszer. A lézer közvetlenül besugározza a tárgy felületét, szennyezi a részecskéket, vagy elnyeli az energiát a felületen, majd a termikus diffúzió, a fotobontás és a gázosítás útján a részecskéket elhagyja.
2) Lézeres nedves tisztítási módszer. Permetezzen be néhány szennyezetlen folyadékot (főleg vizet, néha alkoholt) a tisztítandó anyag felületére, majd besugározza lézerrel. A lézerenergia elnyelése után a folyékony közeg robbanásveszélyes párát képez, és a körülötte lévő szennyező részecskéket eltolja az anyag felületétől. Ezen túlmenően javasolják az úgynevezett lézerkeverék tisztítási módszert. A lézer energiát elnyeli a szubsztrátum anyaga, majd az adszorbeált közbenső közeget hőkonvekcióval melegítik, és a köztes közeg robbanásszerű párolgást eredményez. A nagy légáramlás vezérli a részecskéket a közbenső közeggel együtt a szubsztrátum felületétől.
